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黃昆平指出,傳統快速熱退火可以一次處理多片晶圓,但溫度高、作業時間長,過程產生的熱擴散效應,使得退火溫度無法再下降,不宜用於愈來愈精密細小的元件。但新的「半導體微波退火」卻是直接以微波波長加熱晶圓的矽晶原子,讓原子吸收能量,這個方法可避免熱擴散效應,達到低溫退火的目標,且快速退火的時間僅為傳統退火技術的1/3。



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黃昆平解釋,屬於前段製程的退火過程,對半導體產品良率影響重大,目前7奈米製程需要將退火過程中的磊晶受熱溫度控制在攝氏600度以下,未來製程將朝更小尺寸發展,所要求的溫度更低,預期磊晶受熱溫度必須在攝氏450度以下。

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工研院機械所先進機械技術組專案經理黃昆平表示,半導體製程退火並非單指降溫,而是指一段加熱到降溫的迅速升降溫過程。半導體製程退火的目的在於半導體晶圓中摻入雜質,導致晶圓的材料性質發生劇烈變化,因此需要用退火程序恢復晶圓晶體的結構和消除缺陷。

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看過影片的網友紛紛留言,「牠只是想要處去外面但不想自己走」、「哈哈哈也太懶了吧!」、「不想走路除了抱以外,原來還有這招」、「那個袋子對牠來說太小了拉哈哈」、「太可愛了」。

影片中可以看到,主人準備帶著家中的汪星人去散步,此時提了一個白色的大袋子,可是裡面卻是一隻很大一隻狗狗,沒想到牠賴在裡面不願意離開,主人一臉無奈的只好繼續提著牠,讓一旁的家人直接笑翻並說,「我上課忘了帶課本了,可是我帶來了這個!」



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另一項突破則是對多片晶圓的退火腔體的創新設計,提升了微波能量的穿透性,晶圓的均勻性也可從95%提升到99.5%,優於廠商要求的99%;因此可以同時處理多片晶圓,成為未來奈米等級晶圓退火理想的解決方案。

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結合工研院、交通大學、國家奈米元件實驗室研發的「半導體微波退火」技術,使用的2.45GHz微波管頻率與家用微波爐相似,可提升半導體製程良率,這項技術已技轉給半導體廠,並向光電業推廣,且入圍2017全球百大科技獎(R&D 100 Awards),預計明年可見更多應用成果。

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汪星人只要聽到要去散步,通常都是搖著尾巴非常興奮,期待著出門玩耍,可是有些卻不一樣。粉絲專頁《Daily Picks and Flicks》分享了一段有趣的影片,主人提著袋子要準備出門散步,沒想到汪星人不是去繫繩,而是坐在袋子裡頭,令網友們都笑翻了。

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2015年6月6日 - 15 篇文章 - ?9 位作者

性別: 男(男/女) ->發問者性別問題類型x (個人魅力提昇/認識/追男/追女/情侶相處/分手中(後)/其他) 自己個性: (請以20字內敘述自己的個性): 因為覺得 ...

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他分析,市面上由美國廠商主導的微波退火技術屬高頻微波,不但管制出口,取得成本太高,且高頻微波管的使用壽命約500小時。工研院和相關團隊的「半導體微波退火」採用微波管的頻率與一般工業級的微波管相近,平均壽命達3000小時,成本上有絕對優勢。

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工研院與相關團隊研發 「半導體微波退火」技術,所使用微波管頻率類似家用微波爐,具快速降溫、便宜及達到99.5%晶圓均勻性的優勢,除已技轉半導體廠,並入圍2017全球百大科技獎。

2017年2月28日 - 網路上非常知名的『真愛橋』愛情網站,網站內容不只是教導大家如何擁有穩定的愛情,還包含了形象穿搭、美白保養、減重減脂、增肌塑形、12星座、 ...

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▲汪星人想出門散步卻不想走路,跑進提袋要主人帶。(圖/翻攝自Daily Picks and Flicks粉絲專頁。)



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我沒交過女朋友,請推薦追女生方法! △30歲的珍是一名性工作者,但她結婚的對象居然是警察(圖/翻攝自臉書) 國際中心/綜合報導 英國倫敦警察廳一名警察向 ...61DAFDADAE963A74
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